ASML's High-NA EUV: De Nederlandse revolutie voor AI-chips

Sophie Jansen · 2026-02-27

Het is officieel. De machine die de AI-chips van morgen mogelijk gaat maken, is klaar voor massaproductie. En daarmee is het startschot voor de volgende grote sprong in de chipindustrie gevallen. ASML, het Nederlandse bedrijf dat wereldwijd een monopolie heeft op commerciële EUV-lithografiemachines, heeft deze week bevestigd dat hun High-NA EUV-tools de drempel zijn overgegaan. Van technisch indrukwekkend naar écht productieklaar. Marco Pieters, de Chief Technology Officer van ASML, maakte dit exclusief bekend aan Reuters, vlak voor een technische conferentie in San Jose. Het nieuws kwam niet uit de lucht vallen, maar het voelt wel als een belangrijk moment. Alsof je jaren naar de voorbereidingen van een ruimtemissie hebt gekeken, en nu eindelijk hoort: 'De raket staat op het platform.' ### Waarom deze machines zo belangrijk zijn De huidige generatie EUV-machines raakt langzaam aan het einde van wat ze kunnen betekenen voor geavanceerde AI-chip productie. De halfgeleiders die grote taalmodellen en AI-accelerators aandrijven, botsen tegen een fysieke grens aan. Je kunt het vergelijken met het proberen te tekenen van een steeds complexer schilderij met een steeds dikkere kwast. Het wordt gewoon onmogelijk. High-NA EUV-tools zijn ontworpen om door die grens heen te breken. Ze stellen chipmakers in staat om fijnere, dichtere circuitpatronen te 'printen', en dat in minder stappen. Het directe gevolg? Krachtigere en efficiëntere chips speciaal voor AI-workloads. Pieters zei tegen Reuters: "Ik denk dat het op een belangrijk punt is om te kijken naar het aantal leercycli dat heeft plaatsgevonden." Hij verwijst daarmee naar de enorme hoeveelheid testen die de machines nu hebben doorstaan bij klanten.  ### De cijfers die het verschil maken ASML baseert zijn claim van 'productieklaar' op drie concrete datapunten die ze openbaar gaan maken. En die zijn best indrukwekkend: - De High-NA EUV-machines hebben inmiddels 500.000 siliciumwafers verwerkt. - Ze behalen een uptime van ongeveer 80%, met als doel om tegen het einde van het jaar op 90% te zitten. - Ze hebben een beeldnauwkeurigheid bewezen waarmee meerdere conventionele patroonstappen kunnen worden vervangen door één enkele High-NA stap. Samen vormen deze cijfers, volgens Pieters, het signaal dat de tools klaar zijn voor fabrikanten om met kwalificatie te beginnen. Maar laten we wel wezen, dit is geen goedkope investering. Met een prijskaartje van ongeveer 370 miljoen euro per stuk – het dubbele van de vorige EUV-generatie – behoren ze tot de duurste kapitaalgoederen in de industriële geschiedenis. Grote namen zoals TSMC en Intel staan te boek als vroege gebruikers.  ### Een runway van twee tot drie jaar Technische gereedheid en daadwerkelijke integratie in productielijnen zijn twee heel verschillende dingen. Pieters was daar heel duidelijk in. Ondanks deze mijlpaal duurt het nog twee tot drie jaar voordat de machines volledig zijn geïntegreerd in grootschalige productielijnen. Chipmakers moeten eerst nog door het proces van kwalificatie en procesontwikkeling heen. "Chipmakers hebben alle kennis om deze tools te kwalificeren," zei hij. Een duidelijk vertrouwen in het kunnen van de industrie, ook al verloopt de tijdlijn gestaag. De volgende generatie chip-prestatieverbeteringen is in zicht, maar nog niet in handen. Toch, met ASML die nu zegt dat het startschot is gevallen, is de race om High-NA EUV in productie te nemen formeel begonnen. Het is alsof de marathonlopers nu eindelijk de eerste bocht om zijn.